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European Journal of Electrical Engineering
2103-3641
Revue des Systèmes
Revue Internationale de Génie électrique (1295-490X)
 

 ARTICLE VOL 9/4-5 - 2006  - pp.417-431  - doi:10.3166/rige.9.417-431
TITRE
Étude d'un polyimide haute température pour la passivation des composants de puissance à base de carbure de silicium

RÉSUMÉ
Cette étude porte sur l'évaluation des potentialités d'un matériau polyimide retenu pour la passivation des composants de puissance à base de carbure de silicium, destinés à fonctionner à des températures allant jusqu'à 400 °C. La caractérisation de ses propriétés électriques montrent qu'un recuit d'imidisation à 350 °C durant 30 min limite son utilisation en dessous de 180 °C. Des recuits additionnels prolongés, entre 200 °C et 300 °C, ont conduit à l'amélioration du comportement et de la stabilité du polyimide, avec de très bonnes caractéristiques jusqu'à 250 °C (température maximale lors des mesures). Les évolutions des propriétés de ce polyimide sous excitation sinusoïdale et sous polarisation continue sont analysées, et reliées au taux d'imidisation, initialement insuffisant, et augmentant sous l'effet d'une exposition prolongée au-delà de 200 °C.


ABSTRACT
The study deals with the evaluation of the ability of a polyimide material selected for passivation of silicon carbide power devices, aimed to operate up to 400°C. Its electrical property characterization shows that an imidization annealing performed at 350°C during 30 minutes limits its use to temperatures below 180°C. Additional annealings between 200°C and 300°C lead to an improvement of the polyimide characteristics and their stability, up to 250°C (the maximal test temperature). The evolutions of this polyimide properties under ac excitation and dc polarization are analysed, and related to the initially uncompleted imidisation rate, evolving during high temperature operations.


AUTEUR(S)
Marie-Laure LOCATELLI, Sombel DIAHAM, Samir ZELMAT, Thierry LEBEY

MOTS-CLÉS
polyimide, caractérisation électrique, passivation, haute température.

KEYWORDS
polyimide, electrical characterization, passivation, high temperature.

LANGUE DE L'ARTICLE
Français

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